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溶胶-凝胶法制备(Ba,Sr,Ca)TiO3薄膜及其介电调谐性能分析
引用本文:秦伟,吴文彪,朱伟诚,程晋荣,孟中岩.溶胶-凝胶法制备(Ba,Sr,Ca)TiO3薄膜及其介电调谐性能分析[J].人工晶体学报,2007,36(6):1343-1346.
作者姓名:秦伟  吴文彪  朱伟诚  程晋荣  孟中岩
作者单位:上海大学材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学材料科学与工程学院,上海,200072
摘    要:本文采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)薄膜.XRD及SEM结果表明表明,薄膜结晶良好,形成单一的钙钛矿结构,没有明显的裂缝.薄膜厚度大约为500nm.从介电常数和直流偏压电场的关系曲线上并没有滞后现象,这说明BSCT薄膜处于顺电相.随着x的增加,薄膜的介电常数、介电损耗和调谐率都有所下降,而优值有所提高.J-V特性表明Ca的加入显著降低了薄膜的漏电流.

关 键 词:BSCT薄膜  溶胶-凝胶法  介电调谐  漏电流
文章编号:1000-985X(2007)06-1343-04
收稿时间:2007-02-05
修稿时间:2007-05-08

Dielectric Tunability Properties of Sol-gel Derived (Ba,Sr,Ca)TiO3 Thin Films
QIN Wei,WU Wen-biao,ZHU Wei-cheng,CHENG jin-rong,MENG Zhong-yan.Dielectric Tunability Properties of Sol-gel Derived (Ba,Sr,Ca)TiO3 Thin Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2007,36(6):1343-1346.
Authors:QIN Wei  WU Wen-biao  ZHU Wei-cheng  CHENG jin-rong  MENG Zhong-yan
Abstract:
Keywords:BSCT thin films  Sol-gel method  dielectric tunability  leakage current
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