气体传感器气敏性能测试技术研究进展

对国内文献报道的气体传感器气敏性能测试系统的设计开发情况进行综述。从配气系统、数据处理系统、软件开发三个方面对半导体型气体传感器测试系统的组成进行了概述。配气系统为气敏性能测试提供一定浓度目标气体，分为静态配气法和动态配气法，动态配气法制备出的气体精确度较高，误差较小，可以连续制备气体，是目前主要配气方式。控制器是测试系统的核心部件，负责接收、处理、储存传感器与目标气体反应产生的信号，应用较多的是单片机，其次是ARM微控制器，但都存在内存和存储空间有限的问题。测试软件主要功能是发送指令，实现整个测试系统的有序运行，并实时显示测试结果，目前开发工具种类较多，其中LabVIEW较受青睐。未来气敏测试系统的测试精确度和测试效率还需进一步提高，研究开发功能更加全面的测试系统，来满足其它类型传感器测试需求。