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半导体集成电路设备的新发展
引用本文：蒋迪宝.半导体集成电路设备的新发展[J].集成电路应用,2002(6):1-4.
作者姓名：蒋迪宝
作者单位：北京七星华创电子股份有限公司100016
摘    要：
关 键 词：半导体集成电路  设备  发展  市场  纳米级
本文献已被 维普 等数据库收录！
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