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工作在一定入射角度范围内镀有增透膜的衍射光学元件的衍射效率研究
作者姓名:杨亮亮  刘成林  沈法华  赵勇兵
作者单位:盐城师范学院物理与电子工程学院,江苏盐城224007
基金项目:国家自然科学基金;江苏省自然科学基金面上项目;江苏省高等学校自然科学研究项目
摘    要:对于工作在成像光学系统中的衍射光学元件,一定的入射角度范围是其工作的常态,并且增透膜的引入会影响衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率.本文基于衍射光学元件的相位函数,修正了含有增透膜时的微结构高度;建立了在一定入射角度范围内工作时,单层和多层衍射光学元件的复合带宽积分平均衍射效率与修正微结构高度之间关系的理论模型;并以工...

关 键 词:衍射  光学元件  增透膜  入射角度  衍射效率  微结构高度
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