| α-Si_(1-x)C_x∶H薄膜材料的弹性反冲探测分析 |
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| 引用本文： | 周平,路秀琴,郭继宇,赵葵,吴伟明,隋丽,倪嵋楠,梅俊平,罗红兵,刘建成.α-Si_(1-x)C_x∶H薄膜材料的弹性反冲探测分析[J].原子核物理评论,2004(3). |
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| 作者姓名： | 周平 路秀琴 郭继宇 赵葵 吴伟明 隋丽 倪嵋楠 梅俊平 罗红兵 刘建成 |
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| 作者单位： | 中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，广西大学物理科学与工程技术学院，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所，中国原子能科学研究院核物理所 北京102413广西大学物理科学与工程技术学院广西南宁530004，北京102413，北京102413，北京102413，广西南宁530004，北京102413，北京102413，北京102413，北京102413，北京102413 |
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| 基金项目： | 国际原子能机构(IAEA)支持的国际合作项目(CPR 11314)~~ |
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| 摘 要： | 介绍在中国原子能科学研究院HI 13串列加速器上,对α Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α Si1-xCx∶H薄膜材料样品,用ΔE(gas) E(PSD)望远镜探测器,在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA对能谱进行拟合,得到样品中H,C和Si的比分及深度分布.
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| 关 键 词： | 弹性反冲探测分析 非晶氢化硅碳薄膜 ΔEE望远镜探测器 |
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