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位置灵敏原子探针及其在材料研究中的应用
作者姓名:沙维
作者单位:北京科技大学材料物理系
摘    要:1988年,位置灵敏原子探针在英国牛津大学诞生了.牛津大学场离子显微镜原子探针研究组的G.Smith,A.Cerezo和T.Goclfrey将位置灵敏探测器安装到VG公司FIM100原子探针上,得到了这种可在三维空间重现材料内部结构的最新型厦子探针.位置灵敏原子探针简记作 POSAP(position-sensitive atomprobe).常规原子探针[1]的分析结果实际上是材料某一区域内沿纵深方向的一维成分分布.在POSAP中,由于位置灵敏探测器的使用,接收角大大增加[2],可以得到材料在更大面积(目前约为直径10—15nm范围)内的元素分布.将试样表面原子一层层通过场蒸发剥离,便…

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