| 一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术 |
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| 引用本文： | 付光凯,曹益平.一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术[J].光电子．激光,2018,29(8):837-843. |
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| 作者姓名： | 付光凯 曹益平 |
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| 作者单位： | 四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065,四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333)和国家科技重大专 项(2009ZX02204-008)资助项目 (1.四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065) |
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| 摘 要： | 提出了一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术。 采用5倍显微物镜,将正弦条纹通过投影仪从显 微镜目镜瞳口处耦合投射到载物台上,按照一个合适的步长移动Z轴,用CCD采集一系列不同 离焦量下 的条纹图像,用variance清晰度评价函数计算清晰度与离焦量之间的归一化曲线图,由此建 立清晰度与高 度的查找表；然后,放入待测浮雕物体,用CCD采集对应的条纹图像,采用图像分割分解不 同浮雕高度的 区域,再计算各区域内条纹的清晰度,根据查找表查找相应的高度,从而得到待测浮雕物体 不同区域的高 度信息,以此来重构浮雕物体的三维形貌。实验仿真分析证明了该方法的可行性,硬币上数 字为“0”的浮雕 物体表面三维形貌重建结果证明了该方法的有效性,其误差范围在－2μm,2μm]之间 。
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| 关 键 词： | 三维形貌测量 浮雕轮廓术 清晰度评价函数 正弦条纹 离焦量 查找表 |
| 收稿时间： | 2018/1/4 0:00:00 |
An embossment profilometry based on microscopic imaging sharpness |
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| FU Guang-kai and CAO Yi-ping.An embossment profilometry based on microscopic imaging sharpness[J].Journal of Optoelectronics·laser,2018,29(8):837-843. |
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| Authors: | FU Guang-kai and CAO Yi-ping |
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| Institution: | College of Electronics and Information Engineering,Sichuan University,Chengdu 610065,China and College of Electronics and Information Engineering,Sichuan University,Chengdu 610065,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 3D reconstruction embossment profilometry sharpness evaluation func tion sinusoidal gratings defocus distance look-up table |
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