检测真空紫外线的装置和方法

真空紫外辐射检测装置包括在腔室中的辐射检测器。检测器从辐射源接收紫外辐射。用干式真空泵将腔室抽空到不低于5Pa的相对真空。UV透明气体以一种使得腔室中的总体压强在100～1000Pa之间的相对低流速（大约0．1L／min）从供气容器被供应到腔室中。使用相对廉价的泵，同时使用较低的气体流速，可以显著地节省成本。