| 用于平面光波导的控温模块的设计与制作 |
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| 引用本文： | 吴黎,韩培德,窦金峰,叶志成,全宇军,陆晓东.用于平面光波导的控温模块的设计与制作[J].光电子．激光,2006,17(6):654-657. |
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| 作者姓名： | 吴黎 韩培德 窦金峰 叶志成 全宇军 陆晓东 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083;中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 研制了一种用于平面光波导(PLC)的控温模块。该模块采用比例微分积分(PID)控制回路控温,针对PLC控温特点,采用了优化模块的导热与散热,调整控温电路中的PID参数并采用H桥电流输出等方案对整个控温模块进行了优化设计。该模块体积小,长宽高分别为7 cm×6 cm×4 cm;控温面积为3 cm×3 cm,适用于大尺寸的PLC芯片;控温范围广,从0~70℃;控温速率快、精度高,能将温度稳定到±0.15℃内。
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| 关 键 词： | 控温模块 负温度系数 电热制冷片(TEC) 平面光波导(PLC) |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）06-0654-04 |
| 收稿时间： | 2005-07-17 |
| 修稿时间： | 2005-07-172005-11-06 |
Design and Fabrication of a Temperature Control Module for Planaar Lightwave Guides |
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| WU Li,HAN Pei-de,DOU Jin-feng,YE Zhi-cheng,QUAN Yu-jun,LU Xiao-dong.Design and Fabrication of a Temperature Control Module for Planaar Lightwave Guides[J].Journal of Optoelectronics·laser,2006,17(6):654-657. |
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| Authors: | WU Li HAN Pei-de DOU Jin-feng YE Zhi-cheng QUAN Yu-jun LU Xiao-dong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | temperature control module negative temperature coefficient thermoelectric cooler(TEC) planar lightwave circuit(PLC) |
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