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杂志ISSN号
钝化膜抗γ辐照的研究
作者姓名:
张济龙
作者单位:
西南农业大学基础科技学院物理系
摘 要:
研究了几种不同的钝化膜的γ辐照特性,初步揭示单纯的SiO2膜不具备抗γ辐照的能力,厚度为100nm涂有聚酰亚胺的SiO2膜当辐照剂量小于10^6拉德(Si)时具有良好的抗γ辐照作用。同时指出了四甲基氢氧化胺对Si-SiO2界面也有影响。
关 键 词:
钝化膜 半导体器件 抗电子辐射
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