| 纳米晶SnO2透明导电薄膜的研制 |
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| 引用本文： | 王占和 郝群 祝侃. 纳米晶SnO2透明导电薄膜的研制[J]. 光学技术, 2001, 27(1): 22-23 |
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| 作者姓名： | 王占和 郝群 祝侃 |
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| 作者单位： | 王占和（北京理工大学 电子工程系，北京 100081）;郝群（北京理工大学 光电工程系， 北 京 100081）;祝侃（北京理工大学 电子工程系， 北京 100081） |
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| 基金项目： | 国家留学回国人员科研启动基金资助项目(367-3) |
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| 摘 要： | 阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景。介绍了采用磁控溅射技术，使用混合气体Ar和O
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| 关 键 词： | 磁控溅射； SnO |
| 文章编号： | 1002-1582(2001)01-0022-02 |
| 修稿时间： | 2000-09-14 |
Study of nanocrystallineSnO2 transparent conducting film |
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| WANG Zhan-he. Study of nanocrystallineSnO2 transparent conducting film[J]. Optical Technique, 2001, 27(1): 22-23 |
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| Authors: | WANG Zhan-he |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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