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| 光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计 | |
| 引用本文： | 李炳乾,朱长纯,刘君华.光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计[J].光子学报,2002,31(1):79-82. |
| 作者姓名： | 李炳乾 朱长纯 刘君华 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学电信学院电子工程系,西安,710049;广东省肇庆市风华路18号风华电子城研究中心二楼,肇庆,526020 2. 西安交通大学电信学院电子工程系,西安,710049 3. 广东省肇庆市风华路18号风华电子城研究中心二楼,肇庆,526020 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 6 9776 0 37)，国家教育部博士点基金 ( 980 6 982 8)，光电技术及系统教育部重点实验室，西安交通大学学科建设重点资助项目 |
| 摘 要： | 建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型,利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析,并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化. |
| 关 键 词： | 自谐振 菲涅耳系数矩阵 光电激励 |
| 收稿时间： | 2000/6/13 |
| 修稿时间： | 2000年6月13日 |
OPTICAL CHARACTERISTICS AND OPTIMUM DESIGN OF OPTRICAL EXICITED SELF-RESONANT POLYSILICON SENSOR |
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| Li Bingqian,Zhu Changchun,Liu Junhua.OPTICAL CHARACTERISTICS AND OPTIMUM DESIGN OF OPTRICAL EXICITED SELF-RESONANT POLYSILICON SENSOR[J].Acta Photonica Sinica,2002,31(1):79-82. | |
| Authors: | Li Bingqian Zhu Changchun Liu Junhua |
| Institution: | Department of Electronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049 |
| Abstract: | Multilayer model is established for self-resonant polysilicon sensor.Then,the optical characteristics of the sensor are analyse by this model in theoretical,and the thickness of the microbeam and the high of the cavity is optimized. |
| Keywords: | Self-resonance Fresnel coefficients matrix Optronical excited |
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