脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜的热效应 |
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引用本文: | 周维军,袁永华,桂元珍,刘海淘.脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜的热效应[J].工程物理研究院科技年报,2008(1). |
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作者姓名: | 周维军 袁永华 桂元珍 刘海淘 |
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摘 要: | 用1.06μm单脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜,利用得到的综合参数K来计算不同能量下单脉冲激光辐照薄膜产生的温度场和热应力场,并对计算结果进行分析,获得了温度场和热应力场在激光辐照过程中的变化过程及热应力在脉冲激光辐照薄膜过程中起主导作用。
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关 键 词: | TiO2/SiO2薄膜 脉冲激光辐照 热效应 热应力场 计算结果 综合参数 温度场 膜过程 |
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