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| 谈涂胶/显影设备中的关键装置——HP | |
| 引用本文： | 苗涛,赵继忠.谈涂胶/显影设备中的关键装置——HP[J].科技资讯,2008(10). |
| 作者姓名： | 苗涛 赵继忠 |
| 作者单位： | 1. 沈阳芯源微电子设备有限公司,辽宁沈阳,110168 2. 沈阳工业大学信息工程学院,辽宁沈阳,110023 |
| 摘 要： | 对涂胶/显影设备中的关键装置——HP(Hot Plate)进行系统的分析,介绍了该装置的工艺作用、控制器原理和PID参数的调整设置过程。 |
| 关 键 词： | HP 烘焙 PID |
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