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超声设备扫描路径研究
引用本文:周庆亚,付纯鹤,魏鹏,连军莉.超声设备扫描路径研究[J].电子工业专用设备,2014(4):50-53.
作者姓名:周庆亚  付纯鹤  魏鹏  连军莉
作者单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所 北京 100176
摘    要:针对超声扫描显微镜在扫描过程中所采用几种不同的扫描路径加以描述,并分析其各自的特点及带来的效果。

关 键 词:超声设备  扫描  路径

Research of Scan Path about Acoustic Microscope
ZHOU Qingya , FU Chunhe , WEI Peng , LIAN Junli.Research of Scan Path about Acoustic Microscope[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2014(4):50-53.
Authors:ZHOU Qingya  FU Chunhe  WEI Peng  LIAN Junli
Institution:(The 45^th Research Institute of CECT, Bejing 100176, China)
Abstract:This docum ent introduced som e scan paths w hich used in A coutic scanning,and analysis them characteristic and the benefit.
Keywords:A coustic  Scanning  Path
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