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| 中国科学院表面物理实验室完成分子束外延设备配套工作 | |
| 引用本文： | 沈电洪.中国科学院表面物理实验室完成分子束外延设备配套工作[J].物理,1989(12). |
| 作者姓名： | 沈电洪 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所 |
| 摘 要： | 中国科学院表面物理实验室于1987年4月引进了英国VG公司的“特殊超高真空设备”.由中国科学院物理研究所和中国科学院表面物理实验室组成的配套研制组,在此设备的基础上,设计、加工了被禁运的快门,分子束炉和生长设备的计算机控制系统等三项配套装置,建立了分子束外延设备.该系统于19 87年7月正式投入运行,并在 1988年 6月开始了计算机控制系统的联机运行.二年来,在该设备上共进行了材料生长实验500余次.实践证明,分子束炉、快门和计算机控制系统都达到了设计要求.该设备生长出来的材料质量稳定,性能良好、1987年10月以后生长的调制掺杂 G… |
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