| 一种电热驱动法布里-珀罗光调制器 |
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| 引用本文： | 韦玮,黄尚廉,金珠,王宁,史玲娜. 一种电热驱动法布里-珀罗光调制器[J]. 光子学报, 2009, 38(9) |
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| 作者姓名： | 韦玮 黄尚廉 金珠 王宁 史玲娜 |
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| 作者单位： | 重庆大学,光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400044;重庆大学,微系统研究中心,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，重庆市院士基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于显示基于微机电系统的电热驱动法布里-珀罗光调制器.利用多光束干涉理论分析了该调制器的原理及光学特性.分析表明:当腔长为(2k+1)λ/4时,反射光强取极大值;当腔长为2kλ/4时,反射光强取极小值;通过改变腔长可以实现显示.光源谱宽越窄,衬比度越高;干涉级次越低,衬比度越高;衬比度随反射率的增加而减小.借助Ansys软件仿真分析了调制器的驱动特性.加工了器件并搭建实验装置进行了动态响应特性测试实验.结果表明,该调制器具有驱动电压低至3.2 V,响应速度约为5 kHz的良好驱动特性.实验结果初步验证了该结构的可行性.
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| 关 键 词： | 微机电系统 光调制器 法珀 电热驱动 显示 |
An Electro-thermal Actuated Fabry-Perot Light Modulator |
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| WEI Wei,HUANG Shang-lian,JIN Zhu,WANG Ning,SHI Ling-na. An Electro-thermal Actuated Fabry-Perot Light Modulator[J]. Acta Photonica Sinica, 2009, 38(9) |
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| Authors: | WEI Wei HUANG Shang-lian JIN Zhu WANG Ning SHI Ling-na |
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