氧化态对锗衬底表面质量的影响

锗衬底主要用于制备砷化镓太阳电池，在航天器电源及地面聚光太阳电池系统中有着广泛的应用。为进一步提高电池转换效率，对锗衬底的表面质量提出了更高的要求。研究了HF/H₂O₂/H₂O清洗液体系中氧化剂H₂O₂体积分数对锗衬底及外延片表面质量的影响。随着氧化反应的不断进行，在锗衬底表面形成一层非晶态不溶性GeO_x薄膜，从而实现了锗衬底较好的钝化和更加稳定的表面终结，并通过外延生长进行了工艺验证。通过高分辨率X射线光电子能谱(XPS)对锗衬底表面氧化态进行测试及分峰拟合并模拟计算，当1.22O₂/H₂O清洗液钝化效果较好。