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| 非晶硅半导体及其在传感技术中的应用 | |
| 引用本文： | 魏光谱.非晶硅半导体及其在传感技术中的应用[J].物理,1993,22(9):545-550. |
| 作者姓名： | 魏光谱 |
| 作者单位： | 上海科学技术大学材料科学系 |
| 摘 要： | 叙述了非晶硅半导体的结构、制备方法及特性，介绍了非晶硅在制作光电传感器、色敏传咸器、放射线（Ｘ射线等）传感器及应变传感器等方面的应用。并介绍了这些传感器的大致结构、输出特性及有关的应用． |
| 关 键 词： | 非晶硅半导体 传感器 无定形半导体 |
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