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| PSD传感器的原理及应用 | |
| 引用本文： | 高经伍,赵凤华.PSD传感器的原理及应用[J].国外电子元器件,2002(8):19-20. |
| 作者姓名： | 高经伍 赵凤华 |
| 作者单位： | 东北电力学院 |
| 摘 要： | 介绍了由日本滨松公司研制开发的一种能提供感光表面连续移动光点位置信号的S3271－3274系列光电子位置敏感传感器PSD，指出了该系列PSD器件的性能指标，使用条件以及注间事项，最后分别给出了利用这些PSD传感器来进行液体浓度测量，固体硬度测量以及两平相对平行度测量的方法和示意图。 |
| 关 键 词： | PSD 传感器 测量 光电子传感器 原理 |
| 文章编号： | 1006-6977(2002)08-0019-02 |
| 修稿时间： | 2002年1月28日 |
The Principle and Application of PSD |
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| Abstract: | |
| Keywords: | PSD S3271 S3274 |
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