| 微小型J-T制冷器的发展 |
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| 引用本文： | 陈苗海,张国刚.微小型J-T制冷器的发展[J].四川激光,1985,6(4):178-184. |
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| 作者姓名： | 陈苗海 张国刚 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所
(陈苗海)，华北光电技术研究所(张国刚) |
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| 摘 要： | 本文评述了用集成电路刻蚀技术制造的微小型J-T制冷器的发展概况、关键技术、设计考虑、典型产品的性能参数及其在固体激光器、大规模集成电路和光电探测器等方面的可能应用。
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| 关 键 词： | J-T制冷器 微小型 大规模集成电路 技术制造 固体激光器 光电探测器 发展概况 设计考虑 典型产品 刻蚀 |
| 修稿时间： | 1984-04-23 |
Development of microminiature J-T refrigerators |
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| Chen Miaohai, Zhang Guogang.Development of microminiature J-T refrigerators[J].Laser Journal,1985,6(4):178-184. |
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| Authors: | Chen Miaohai Zhang Guogang |
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| Institution: | North China Research Institute of Electro-Optics |
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