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主动抛光盘磨制非球面镜面控制技术的研究
引用本文:汪达兴,李颖,杨世海,高必烈. 主动抛光盘磨制非球面镜面控制技术的研究[J]. 光学技术, 2005, 31(3): 373-375
作者姓名:汪达兴  李颖  杨世海  高必烈
作者单位:1. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京,210042
2. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京,210042;中国科学院,研究生院,北京,100039
基金项目:国家自然科学基金重点项目(19633020)
摘    要:介绍了抛光盘机械结构和基本运动方式,探讨了主动抛光盘的控制系统和面形检测,重点对变形技术进行了数学分析,并给出了实验结果。根据实验结果分析了面形误差产生的原因,讨论了主动抛光盘的动态响应和校正,给出了直径910mm,焦比为F/2的实验镜面磨制结果。

关 键 词:主动抛光盘  非球面镜面  计算机控制
文章编号:1002-1582(2005)03-0373-03
修稿时间:2004-05-20

Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror
WANG Da-xing,LI Ying,YANG Shi-hai,GAO Bi-lie. Study on control technology of active stressed lap polishing aspherical mirror[J]. Optical Technique, 2005, 31(3): 373-375
Authors:WANG Da-xing  LI Ying  YANG Shi-hai  GAO Bi-lie
Affiliation:WANG Da-xing~
Abstract:The mechanical construction and basic movement mode of the lap are introduced and the control system was exploited. Distortion technology was analyzed from math theory aspect and the experiment result was given. According to the result, the reason of distortion error was analyzed and the dynamic response and emendation problem were discussed. The testing results on applying the lap on 910 mm, with f/2 paraboloidal mirror were given.
Keywords:active stressed lap  aspherical mirror  computer control
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