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| Y^（3＋）掺杂ZnO薄膜的结构及性能研究 | |
| 引用本文： | 贾聪颖,谭红琳,杨应湘.Y^（3＋）掺杂ZnO薄膜的结构及性能研究[J].半导体光电,2012,33(3):379-381. |
| 作者姓名： | 贾聪颖 谭红琳 杨应湘 |
| 作者单位： | 昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明,650093;昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明,650093;昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明,650093 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上成功制备出Y3＋掺杂的透明ZnO薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和紫外分光光度计分析了掺杂Y3＋对ZnO薄膜结构和性能的影响。结果表明：Y3＋成功掺入氧化锌的晶格内;随着掺杂浓度的提高,薄膜的透光率并未表现出一定的规律性;随着退火温度升高,薄膜的透光率明显得到提高;在530℃退火时,薄膜的表面形貌形成网状结构且透光率达到70%左右。 |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 掺杂ZnO薄膜 晶格结构 透光率 |
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