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| 激光电离真空仪 | |
| 引用本文： | 马钟锦.激光电离真空仪[J].真空电子技术,1989(4). |
| 作者姓名： | 马钟锦 |
| 摘 要： | 通常、测量高真空度广泛使用B—A电离真空计。这种真空计是利用从灯丝产生的热电子在飞往栅极的途中与残余气体相碰撞使气体电离。然后根据离子电流测量真空度的。它对10~(-2)～10~(-8)托范围内的真空度,能够进行简易而又可靠的测量。可是,它对 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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