| 磁控溅射多层沉积Nb_3Sn超导薄膜北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 李金海,A.A.Rossi,V.Palmieri.磁控溅射多层沉积Nb_3Sn超导薄膜北大核心CSCD[J].原子核物理评论,2015(S1):59-63. |
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| 作者姓名： | 李金海 A.A.Rossi V.Palmieri |
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| 作者单位： | 1.中国原子能科学研究院102413;2.INFN, Laboratori Nazionali di Legnaro; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(91126003)；国家科技支撑计划资助项目(2014BAA03B01)~~ |
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| 摘 要： | Nb3Sn金属合金是一种性能优良的超导材料。磁控溅射多层沉积是用两个溅射源分层沉积铌和锡,再经过高温退火后获得超导薄膜的方法。用这种方法所获得的超导薄膜的原子组分的调整比较方便,对于Nb3Sn的研究较为有利。实验测量了样品的超导参数和晶格参数,其超导临界温度(Tc)可达17 K,剩余电阻率(RRR)为5左右。需要进一步研究相关工艺,以便提高RRR,从而使这种方法在超导加速腔的制造中得到应用。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 超导薄膜 Nb3Sn 多层沉积 |
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