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| YBa2Cu3O7-δ薄膜微结构的同步辐射三维倒空间扫描研究 | |
| 作者姓名： | 易栖如 熊沛雨 王焕华 李港 王云开 董恩阳 陈雨 沈治邦 吴云 袁洁 金魁 高琛 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院大学物理科学学院;2. 中国科学院物理研究所;3. 中国科学院高能物理研究所 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划（批准号：2022YFA1603900）；;中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:E1E40207X2)； |
| 摘 要： | 高温超导薄膜因其微波表面电阻低,可用于尖端高温超导微波器件的制作.然而由于高温超导材料特殊的二维超导机制和极短的超导相干长度,高温超导材料的微波表面电阻对微结构特别敏感.为了探究高温超导材料微结构和微波电阻的联系,采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)取向的MgO单晶衬底上生长了不同厚度的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜.电学测量发现不同厚度的样品超导转变温度、常温电阻差别不大,但超导态的微波表面电阻差异很大.同步辐射三维倒空间扫描(3D-RSM)技术对YBCO薄膜微结构的表征表明:CuO2面平行于表面晶粒(c晶)的多寡、晶粒取向的一致性是造成超导态微波表面电阻差异的主要原因. |
| 关 键 词： | 三维倒空间扫描 YBCO薄膜 微结构 |