| 应变增强Nb掺杂SrTiO3薄膜热电性能 |
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| 作者姓名： | 马云鹏 庄华鹭 李敬锋 李千 |
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| 作者单位： | 清华大学材料学院,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(批准号:2020YFA0309100)；;国家自然科学基金委原创探索计划(批准号:52150092)资助的课题~~； |
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| 摘 要： | 高性能热电材料的发展有望帮助解决未来能源危机,且随着可穿戴器件的发展与应用,热电材料和器件除了要具备更高的热-电转化性能以外,还必须具有良好的柔性.将热电材料制成薄膜既可以为微型器件供电,也有潜力应用于柔性器件.本文使用脉冲激光沉积方法,在商用SrTiO3 (STO)和La0.3Sr0.7Al0.65Ta0.35O3 (LSAT)衬底上制备得到了不同厚度的高质量铌掺杂钛酸锶薄膜(Nb:STO),并对薄膜的表面形貌、结构以及热电性能进行表征与测试.结果显示,使用LSAT作为衬底可以对薄膜施加面内压应变,随着薄膜厚度的增大,应变逐渐释放并接近于块体Nb:STO.随着厚度的增大,薄膜的热电性能逐渐提升,在STO衬底上生长的208 nm厚样品的室温功率因子相比于52 nm样品提升了187%.此外, 144 nm厚度的Nb:STO/LSAT薄膜室温塞贝克系数达到了265.95 μV/K,这是由于衬底应变导致薄膜样品的能带变化.本工作表明通过应变工程调控铌掺杂钛酸锶薄...
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 热电 钛酸锶 薄膜 |
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