| 光纤飞秒激光五倍频产生206 nm深紫外激光 |
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| 作者姓名： | 石凉竹 张萌 储玉喜 刘博文 胡明列 |
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| 作者单位： | 天津大学,精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室,光电信息技术教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:61805174,61535009,61827821,61377041,11527808,U1730115)；;广东省重点领域研发计划(批准号:2020B090922004)；;天津市自然科学基金(批准号:20JCQNJC01180)资助的课题~~； |
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| 摘 要： | 深紫外飞秒激光兼具深紫外激光单光子能量高和飞秒激光峰值功率高的优势,这使得深紫外飞秒激光在半导体晶圆检测和角分辨光电子能谱等领域被广泛应用,但是色散导致的群速度失配使得深紫外飞秒激光的输出变得十分困难,本文基于掺镱光纤飞秒激光器,实现了一种基于延迟线的深紫外飞秒激光脉冲产生方案.通过优化延迟线精确补偿时间走离,基于掺镱飞秒光纤激光五倍频获得了重复频率为1 MHz、中心波长为206 nm的深紫外飞秒激光输出,其平均功率102 mW,从近红外到深紫外的转换效率为4.25%.
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| 关 键 词： | 非线性光学 飞秒光纤激光器 深紫外激光 时间走离 |
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