| 一种可溯源的光谱椭偏仪标定方法 |
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| 引用本文： | 张继涛,李岩,罗志勇.一种可溯源的光谱椭偏仪标定方法[J].物理学报,2010,59(1):186-191. |
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| 作者姓名： | 张继涛 李岩 罗志勇 |
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| 作者单位： | (1)清华大学精密仪器与机械学系，精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084; (2)中国计量科学研究院，北京 100013 |
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| 基金项目： | 国家科技支撑计划（批准号：2006BAF06B06）资助的课题. |
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| 摘 要： | 提出了一种用X射线反射术标定光谱椭偏仪的方法.作为一种间接测量方法,光谱椭偏术测得的薄膜厚度依赖于其光学常数,不具有可溯源性.在掠入射条件下,X射线反射术能测得薄膜的物理厚度,测量结果具有亚纳米量级的精密度且与薄膜光学常数无关.在单晶硅基底上制备了厚度分别为2nm,18nm,34nm,61nm及170nm的SiO2薄膜标样,并用强制过零点的直线拟合了两种方法的标样测量结果,拟合直线的斜率为1.013±0.013,表明该方法可在薄膜厚度测量中标定光谱椭偏仪.
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| 关 键 词： | 光谱椭偏术 X射线反射术 膜厚 标定 |
| 收稿时间： | 4/8/2009 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 5/6/2009 12:00:00 AM |
A traceable calibration method for spectroscopic ellipsometry |
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| Zhang Ji-Tao,Li Yan,Luo Zhi-Yong.A traceable calibration method for spectroscopic ellipsometry[J].Acta Physica Sinica,2010,59(1):186-191. |
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| Authors: | Zhang Ji-Tao Li Yan Luo Zhi-Yong |
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| Abstract: | A method for calibrating the spectroscopic ellipsometry by X-ray reflectivity is presented. As an indirect method,spectroscopic ellipsometry does not have the traceability because the measured film thickness is dependent on its optical constant. In contrast,at the grazing angle,the X-ray reflectivity can be used to measure the absolute thickness of thin film with sub-nanometer precision,and is independent of the optical constant. Five SiO2 films were deposited on the substrate of single crystal silicon with... |
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| Keywords: | spectroscopic ellipsometry X-ray reflectivity film thickness calibration |
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