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微细加工技术与设备
摘 要:
TN305.7 2004032328 光刻法制备聚合物/液晶光栅=Preparing polymer liquidcrystal grating by photolithography[刊,中]/马骥(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),刘永刚…∥功能材料与器件学报.—2003,9(3).—309-312
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