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| 金属蒸气真空孤离子源及其束流密度分布 | |
| 引用本文： | 朱祥正,张荟星.金属蒸气真空孤离子源及其束流密度分布[J].微细加工技术,1990(4):6-9. |
| 作者姓名： | 朱祥正 张荟星 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 (朱祥正，张荟星)，北京师范大学低能核物理研究所(张孝吉) |
| 摘 要： | 我们研制了一种金属蒸气真空孤(MEVVA)离子源。这是一种新型的强流金属离子源,特别适用于离子注入材料表面改性中。测量了该源的引出束流密度分布,并估算了束散角和发射度。 |
| 关 键 词： | 金属蒸气 真空孤离子源 离子注入 |
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