采用磷原子选择性表面掺杂的横向固相非晶硅膜外延

本文研究了用磷原子的选择表面掺杂法来作非晶硅(α-Si)膜的横向固相外延(L-SPE),采用这种方法的磷原子仅在α-Si膜的表面层掺杂。已经发现,L-SPE的生长速率和从籽晶区起的生长长度,可由磷原子掺杂层的厚度来改变,但与α-Si膜厚度的关系不大。采用有效截面的透射电子显微技术,还发现,在掺磷样品表面中L-SPE的生长前沿由单晶面组成。为了解释这些实验结果,我们提出了表面掺磷样品的一种L-SPE生长模型。