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| 硅基室温电流注入Ge/Si异质结发光二极管 | |
| 作者姓名： | 胡炜玄 成步文 薛春来 薛海韵 苏少坚 白安琪 罗丽萍 俞育德 王启明 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室; |
| 基金项目： | 国家973计划(2007CB613404);;国家863计划(2006AA03Z415);;国家自炙科学基金(60676005)资助课题 |
| 摘 要： | 目前,硅基光电集成所需的各个光子学单元已经取得了巨大的突破,并且与现有的微电子工艺完全兼容:硅基光波导在 |
| 关 键 词： | 电流注入 光电集成 异质结 微电子工艺 硅基光波导 兼容 发光二极管 光子学 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |