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| 一种简易的4.2K低温样品架及其应用 | |
| 引用本文： | 李成基.一种简易的4.2K低温样品架及其应用[J].电子显微学报,1989,8(3):69-72. |
| 作者姓名： | 李成基 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 利用聚四氟乙烯管与不锈钢波纹管组成的具有同轴结构的低温样品架,在扫描电镜中,能作三维自由移动。在流动液氦的冷却下,一分多钟的时间内即可由室温降到4.2K。在6K时,液氦的消耗量为1升/小时。已成功地用于半导体的低温阴极荧光与束感生电流的测量。 |
| 关 键 词： | 低温样品架 半导体器件 测量 SEM |
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