| 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟 |
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| 引用本文： | 左然,张红,刘祥林.行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟[J].工程热物理学报,2005,26(4):671-673. |
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| 作者姓名： | 左然 张红 刘祥林 |
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| 作者单位： | 江苏大学能源与动力工程学院,江苏,镇江,212013;中国科学院半导体研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划(863计划);江苏大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究。通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化。根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 输运过程 热对流 数值模拟 |
| 文章编号： | 0253-231X(2005)04-0671-03 |
| 修稿时间： | 2004年11月29 |
NUMERICAL STUDY ON CONVECTION ROLL CELLS IN A PLANETARY CVD REACTOR WITH THREE-SEPARATE VERTICAL INLETS |
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| ZUO Ran,ZHANG Hong,LIU Xiang-lin.NUMERICAL STUDY ON CONVECTION ROLL CELLS IN A PLANETARY CVD REACTOR WITH THREE-SEPARATE VERTICAL INLETS[J].Journal of Engineering Thermophysics,2005,26(4):671-673. |
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| Authors: | ZUO Ran ZHANG Hong LIU Xiang-lin |
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| Abstract: | Transport phenomena in a planetary CVD reactor with three-separate vertical inlets is studied by two-dimensional numerical modeling. By varying the reactor geometry, inlet flow rates, gas pressure and wall temperature, the corresponding velocity, temperature and concentration fields inside the reactor are calculated. The optimum conditions for transport process of thin film growth are determined. |
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| Keywords: | MOCVD thin film growth transport process thermal convection numerical modeling |
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