| 质子注入能量对垂直腔面发射激光器的阈值和功率的影响 |
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| 引用本文： | 毛明明,徐晨,魏思民,解意洋,刘久澄,许坤. 质子注入能量对垂直腔面发射激光器的阈值和功率的影响[J]. 物理学报, 2012, 61(21): 249-253 |
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| 作者姓名： | 毛明明 徐晨 魏思民 解意洋 刘久澄 许坤 |
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| 作者单位： | 北京工业大学光电子技术实验室,北京,100124 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划，国家自然科学基金，北京市自然科学基金( |
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| 摘 要： | 文章研究了如何兼顾质子注入型垂直腔面发射激光器的功率和阈值性能.从模拟和实验两方面分析了质子注入能量与器件功率和阈值特性的关系.发现注入能量过高时,损伤有源区,降低了功率性能.而能量过低则会减弱对注入电流的限制,增加阈值.计算和实验结果表明,对于文中的器件结构,315 keV的注入能量是合适的.在10μm的注入孔径下获得器件的阈值为4.3 mA,功率为1.7 mW.
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| 关 键 词： | 质子注入能量 垂直腔面发射激光器 功率 阈值 |
The effects of proton implant energy on threshold and output power of vertical cavity surface emitting laser |
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| Mao Ming-Ming Xu Chen Wei Si-Min Xie Yi-Yang Liu Jiu-Cheng Xu Kun. The effects of proton implant energy on threshold and output power of vertical cavity surface emitting laser[J]. Acta Physica Sinica, 2012, 61(21): 249-253 |
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| Authors: | Mao Ming-Ming Xu Chen Wei Si-Min Xie Yi-Yang Liu Jiu-Cheng Xu Kun |
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| Affiliation: | Mao Ming-Ming Xu Chen Wei Si-Min Xie Yi-Yang Liu Jiu-Cheng Xu Kun (Key Laboratory of Optoelectronics Technology Ministry of Education,Beijing University of Technology,Beijing 100124,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | proton injection energy vertical cavity surface emitting laser output power threshold current |
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