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基于人工智能技术的光学超精密检测技术

作者单位：	潍坊科技学院计算机软件学院,山东寿光262700;潍坊科技学院计算机软件学院,山东寿光262700

基金项目：	山东省高等学校科技计划项目

摘要：
关键词：	人工智能光学超精密检测技术机械学习干涉测量共聚焦微米级
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