多晶炉大尺寸高效率热场的设计与研究

多晶硅铸锭炉的热场结构决定了铸锭炉内的温度分布,从而对晶体生长过程中的形核质量、固液界面形状、流体流动模式以及杂质输运过程等都有直接影响。对热场结构的合理设计及不断优化是提高多晶硅晶体品质的重要手段之一。本项目通过对热场的优化,改善了熔体流动模式,有利于杂质向硅锭边部及外部输运,减少了杂质对多晶硅晶体品质的负面影响。