| p型半导体金刚石膜的磁阻效应 |
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| 引用本文： | 孔春阳,王万录,廖克俊,马勇,王蜀霞,方亮. p型半导体金刚石膜的磁阻效应[J]. 物理学报, 2001, 50(8): 1616-1622 |
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| 作者姓名： | 孔春阳 王万录 廖克俊 马勇 王蜀霞 方亮 |
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| 作者单位： | (1)重庆大学理学院应用物理系,重庆400044; (2)重庆大学理学院应用物理系,重庆400044;重庆师范学院物理系,重庆400047; (3)重庆师范学院物理系,重庆400047 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:19904016)资助的课题. |
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| 摘 要： | 在p型硅(100)衬底上,采用衬底负偏压微波等离子体CVD方法进行了p型异质外延金刚石膜的生长.用O2等离子体刻蚀技术将金刚石膜刻蚀成长条形,利用四探针法在0—5T的磁场范围内测量了样品的磁阻.实验结果表明,p型异质外延金刚石膜可以产生较大的磁阻.在Fuchs-Sondheimer(F-S)薄膜理论的基础上考虑晶格散射、杂质散射和表面散射,通过求解Boltzmann方程,利用并联电阻模型研究了p型异质外延金刚石膜的磁阻效应,给出了磁阻和金刚石膜厚度、迁移率、空穴密度及磁场的关系.讨论了表面散射和价带形变对p型异质外延金刚石膜磁阻的影响,初步解释了p型异质外延金刚石膜产生较大磁阻的原因关键词：金刚石膜异质外延磁阻效应电导率
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| 关 键 词： | 金刚石膜 异质外延 磁阻效应 电导率 |
| 收稿时间： | 2000-12-17 |
| 修稿时间： | 2000-11-17 |
THE MAGNETORESISTIVE EFFECT OF p-TYPE SEMICONDUCTING DIAMOND FILMS |
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| KONG GHUN-YANG,WANG WAN-LU,LIAO KE-JUN,MA YONG,WANG SHU-XIA and FANG LIANG. THE MAGNETORESISTIVE EFFECT OF p-TYPE SEMICONDUCTING DIAMOND FILMS[J]. Acta Physica Sinica, 2001, 50(8): 1616-1622 |
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| Authors: | KONG GHUN-YANG WANG WAN-LU LIAO KE-JUN MA YONG WANG SHU-XIA FANG LIANG |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond films heteroepitaxial magnetoresistive effect conductivity |
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