用球坑技术制备表面分析样品和电镜样品 |
| |
引用本文: | 仲永安. 用球坑技术制备表面分析样品和电镜样品[J]. 物理, 1985, 14(6). |
| |
作者姓名: | 仲永安 |
| |
作者单位: | 陕西师范大学物理系 |
| |
摘 要: | 用俄歇(Auger)电子能谱技术作样品深度成分分析,是一种有效的方法.近几年来,采用球坑技术制备样品深度剖面,特别是制备深度大于1μm时,取得较好效果[1].球坑技术还可用来制备透射电镜的样品,如硬质材料陶瓷的样品,过去,这种非金属材料样品在预磨至30μm后,还要用离子轰击减薄的方法[2-4].现在,用球坑技术制备陶瓷材料的透射电镜样品取得了成功.球坑技术早期被人们用作半导体器件结的研究[5?...
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
| 点击此处可从《物理》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《物理》下载全文 |
|