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| 微细加工技术与设备 | |
| 摘 要： | TN3052007010852微细光成形和LiGA工艺集成的可行性分析=Study onfeasibility of integration of micro stereolithography and Li-GA[刊,中]/王翔(中国科学技术大学.安徽,合肥(230026)),赵钢…//中国机械工程.—2006,17(10).—1051-1055对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新… |
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