| 联氨溶液钝化GaAs(100)表面特性及其发光性能 |
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| 作者姓名： | 徐雨萌 薄报学 高欣 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春,130022;长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春,130022;长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点研发计划;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划 |
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| 摘 要： | 为了有效降低GaAs表面态密度,获得稳定的高性能钝化膜,使用联氨溶液钝化GaAs(100)表面。通过光致发光对联氨溶液浓度、Na_2S浓度和钝化时间进行了优化。联氨溶液钝化后GaAs样品的PL比未处理的增加了1.22倍。采用X射线光电子能谱和原子力显微镜分析了联氨溶液钝化前后GaAs的表面成分和形貌。结果表明,联氨溶液钝化GaAs表面可以有效地去除表面氧化物,形成均匀、平整的GaN钝化层。通过表面稳定性测试发现,钝化后的GaAs表面在空气中放置数天,光致发光强度未见明显的退化(30 d内PL强度降低7%),说明钝化后GaAs表面的稳定性良好。
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| 关 键 词： | 联氨 GaAs 钝化 光致发光 GaN |
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