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| 热处理温度对ZnO∶Al薄膜性能的影响 | |
| 作者姓名： | 杨春秀 闫金良 孙学卿 李科伟 李俊 |
| 作者单位： | 鲁东大学 物理与电子工程学院，山东 烟台 264025鲁东大学物理与电子工程学院鲁东大学物理与电子工程学院 |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶技术在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al薄膜，表征了薄膜的结构、光透过和光致发光特性，探讨了热处理温度对薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明，在热分解温度400 ℃和退火温度600 ℃时，ZnO∶Al薄膜的C轴择优取向明显，透过率较高.在热处理温度400 ℃情况下，激发波长340 nm的光致发光谱中有三个发光中心，紫外发光强度随退火温度的升高先升高后下降，500 ℃时发光强度最强.其它两个发光峰的强度随退火温度的升高而降低甚至消失.激发波长不同，ZnO∶Al薄膜的发光中心和强度均发生变化. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 ZnO∶Al薄膜 热处理 晶体结构 光致发光 |
| 收稿时间： | 2007-08-16 |
| 修稿时间： | 2007-10-11 |
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