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| 自由分子流状态的低温抽气 | |
| 引用本文： | RAYMONO W·MOORE Jr ,任家生.自由分子流状态的低温抽气[J].电子器件,1981(2). |
| 作者姓名： | RAYMONO W·MOORE Jr 任家生 |
| 摘 要： | 本文回顾了对工作在分子流状态下,屏蔽掉辐射影响的冷凝表面气体流冷凝和热传移现象的理论探讨,确定并讨论了与典型低温抽气几何体有关的。重要而有用的各个参量。同时还介绍了装置在直径为3英尺,长4英尺的园筒型高真空容器中的特殊几何体的抽速和热负荷的实验结果。 实验结果与理论推导进行了比较 |
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