| 硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征 |
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| 引用本文： | 孙秀菊,李海玲,励旭东,任丙彦,周春兰,赵雷,王文静. 硅太阳电池用MgF2/ZnS双层减反射薄膜的制备及表征[J]. 人工晶体学报, 2009, 38(3): 547-551 |
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| 作者姓名： | 孙秀菊 李海玲 励旭东 任丙彦 周春兰 赵雷 王文静 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工研究所,北京,100190;河北工业大学,天津,300130;中国科学院电工研究所,北京,100190;北京市太阳能研究所,北京,100083;河北工业大学,天津,300130 |
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| 摘 要： | 采用真空热蒸发技术,制备出了性能优良的MgF2/ZnS双层减反射薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对薄膜的形貌以及结晶形态进行分析,采用椭圆偏振仪测试薄膜的折射系数及厚度,利用反射谱对双层减反射薄膜的减反射性能进行了表征.研究表明:衬底温度为200 ℃时薄膜附着力、结晶态良好;蒸发速率影响薄膜的表面形态;MgF2/ZnS厚度为110 nm/35 nm时具有最佳减反射效果.
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| 关 键 词： | ZnS薄膜 MgF2薄膜 减反射薄膜 真空热蒸发, |
Preparation and Characterization of MgF_2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells |
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| SUN Xiu-ju,LI Hai-ling,LI Xu-dong,REN Bing-yan,ZHOU Chun-lan,ZHAO Lei,WANG Wen-jing. Preparation and Characterization of MgF_2/ZnS Double-layer Antireflection Films Applied in Silicon Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2009, 38(3): 547-551 |
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| Authors: | SUN Xiu-ju LI Hai-ling LI Xu-dong REN Bing-yan ZHOU Chun-lan ZHAO Lei WANG Wen-jing |
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| Affiliation: | 1.Institute of Electrical Engineering;Chinese Academy of Science;Beijing 100190;China;2.Hebei University of Technology;Tianjin 300130;3.Beijing Solar Energy Research Institute;Beijing 100083;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnS film MgF2 film antireflection reflection vacuum thermal evaporation |
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