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| 金属-半导体欧姆接触比接触电阻值的微机自动测定 | |
| 引用本文： | 朱德光,吴鼎芬,王德宁,吴国炎,金云龙.金属-半导体欧姆接触比接触电阻值的微机自动测定[J].半导体技术,1987(6). |
| 作者姓名： | 朱德光 吴鼎芬 王德宁 吴国炎 金云龙 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 (朱德光，吴鼎芬，王德宁，吴国炎)，中国科学院上海冶金研究所(金云龙) |
| 摘 要： | 本文描述了欧姆接触的测试原理和测定欧姆接触比接触电阻的微机自动测试系统,并用该系统对制备的欧姆接触进行了测量,其测量精度优1%,测试系统使用方便,操作简单,获得结果迅速、可靠,适合于半导体器件的欧姆接触工艺研究与监控中比接触电阻的测定. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |