| 热光Si共振腔型可调谐滤波器 |
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| 引用本文： | 黄昌俊,左玉华,成步文,毛容伟,李传波,余金中,王启明.热光Si共振腔型可调谐滤波器[J].半导体学报,2003,24(12). |
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| 作者姓名： | 黄昌俊 左玉华 成步文 毛容伟 李传波 余金中 王启明 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 报道了利用Si基键合技术和化学机械抛光工艺制作的垂直结构的Fabry-Perot可调谐滤波器,调谐机理为pn结正向注入电流引起的热光效应.调谐范围可达23nm,响应时间约为300μs,并给出了获得更快响应和更低能耗的热光和电注入可调谐滤波器件结构改进方案.
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| 关 键 词： | Fabry-Perot可调谐滤波器 热光效应 Si基光电子 |
Si-Based Thermal-Optical Resonant-Cavity Tunable Filter |
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