| 热驱动微光学 |
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| 引用本文： | 张维,ZAPPEHans.热驱动微光学[J].中国光学,2014,7(2):215-224. |
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| 作者姓名： | 张维 ZAPPEHans |
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| 作者单位： | 1. 德国弗莱堡大学 微系统工程系, 弗莱堡 79110;
2. 西北工业大学, 陕西 西安 710072 |
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| 摘 要： | 通过实例研究和近期报道的文献，论述了热驱动微光学的研究进展。驱动器主要通过应用在液体和液气界面的压力来调控光学微流体，包括微镜片和薄膜微透镜，热驱动器利用芯片上的温度变化产生所需要的压力差，从而对微透镜进行调控。同时还讨论了用于微光学结构的各种设备、结构、液体和膜材料，并提供了典型操作特性。
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| 关 键 词： | 可调微透镜 热驱动器 微光学 |
| 收稿时间： | 2013/10/10 |
Thermo-pneumatic micro-optics |
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| ZHANG Wei,ZAPPE Hans.Thermo-pneumatic micro-optics[J].Chinese Optics,2014,7(2):215-224. |
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| Authors: | ZHANG Wei ZAPPE Hans |
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| Institution: | 1. Department of Microsystems Engineering, University of Freiburg, Freiburg 79110, Germany;
2. Northwestern Polytechnical University, Xi'an 710072, China |
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| Abstract: | We discuss the development of thermo-pneumatic micro-optics and illustrate this progress using ex- amples from our own research as well as recent literature. Pneumatic actuation is used for tuning micro-fluidics based optics, including micromirrors and membrane microlenses, which rely on pressure applied to liquids or liquid/gas interfaces for operation. Thermo-pneumatic actuation uses on-chip temperature changes to generate the requisite pressure differences. We discuss the variety of devices, structures, liquids and membrane materi- |
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| Keywords: | tunable micro-lens thermo-pneumatic actuator micro-optics |
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