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亚毫米多硅微齿轮的初步研究

引用本文：	苏毅,赵新安.亚毫米多硅微齿轮的初步研究[J].科技通讯(上海),1991(4):21-23.

作者姓名：	苏毅赵新安

摘要：
关键词：	微齿轮微机械加工干法腐蚀
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