Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs双异质结激光器的液相外延研究 |
| |
作者姓名: | 全宝富 杜国同 汤广平 苗盛 苗忠礼 邓希敏 |
| |
作者单位: | 吉林大学电子科学系(全宝富,杜国同,汤广平,苗盛,苗忠礼),吉林大学电子科学系(邓希敏) |
| |
摘 要: | 本文报导了Ga_(1-x)Al_xAs/GaAs双异质结激光器液相外延过程中,有关组份、浓度、生长速率控制的一些实验结果。主要内容是Ga_(1-x)Al_xAs层的组份、平均生长速率随溶液中Al含量的变化和杂质Te在GaAs、Ga_(1-x)Al_xAs层中的掺杂行为等。利用所得结果可方便地控制外延层的组份、厚度和掺杂浓度。
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|